Réalisation d'un réseau d'antenne imprimées millimétriques sur substrat ultra souple,
Face à une demande toujour plus importante en terme d'antennes déformables ou reconfigurables, dans le cadre d'application de communication (réseaux de capteurs, radars de proximité, communications indoors, ...), l'objectif de ce projet est de concevoir un réseau d'antennes imprimées millimétrique (60 GHz) sur substrat ultra souple. Pour cela, le procédé microtechnologique de développement d'une antenne patch réalisé pour étudier la faisabilité de réalisation technologique au sein du LIMMS (Japon), est transférer dans la salle blanche de l'Institut d'Electronique, de Microeléctronique et de Nanotechnologie (IEMN).
Par la suite, un réseau 2*4 d'antennes patch est réalisé par le même procédé augmenté de quelques améliorations.
L'antenne est réalisé par une approche de haut en bas. La métalisation est réalisé par lift-off sur un wafer support contenant une couche sacrificielle d'aluminium. Une membrane de PDMS est ensuite déposée. Grâce à un collage plasma O2, le cadre de PDMS est instalé. Et finalement, après libération, la structure est déportée sur son plan de masse.



Compétences mobilisées
Ce projet a permis de mettre en avant toute la partie technique de réalisation en micro technologie (lift-off, spin-coating, reliease, callage plasma O2, collage UV-Ozone, mesure par goniométrie, mesure par profilométrie ,....), mais aussi de connaitre le fonctionnement d'un laboratoire de recherche.

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Mr Ronan Chambon, SEO, 2007


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