Mise en place d'un procédé de fabrication d'un moule en résine SU-8 2100 et utilisation du PDMS,
Les Dess Microélectronique ont étudié au premier semestre la possibilité d'utiliser le PDMS ( silicone translucide ) en microtechnologie de part sa souplesse et sa bonne résistance aux contraintes mécaniques.
Lors de ce TER, il s'agissait donc de "modeler" le PDMS selon différents motifs, à l'aide d'une résine épaisse jamais utilisée à l'IETR, en l'occurence la SU-8 2100. Nous avions dûs mettre en place un procédé de fabrication optimal, en choisissant judicieusement des paramètres temps et température lors de différentes étapes technologiques.
Dans un deuxième temps, il s'agissait d'étudier le comportement du PDMS avec des matériaux tels que l'aluminium, le SiO2 ou d'autres résines afin d'étendre les applications possibles de ce tout nouveau matériau.


Compétences mobilisées
Lors de ce TER, patience et rigueur sont de mises face à la quantité de tests à effectuer en utilisant des procédés technologiques dont les particularités ont été étudiées en option microélectronique.
Ce travail s'effectue en salle blanche, ce qui impose une certaine discipline et une grande concentration lors de nos manoeuvres, par souci de clean concept.

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Sciarretta Antony , Diaz Amélie, MEEA, 2004