Microtechnologie dédiée au développement de microcapteurs chimiques et biologiques,
Réalisation de structures 3D par optimisation de couches d'isolant dédiées à la réalisation de structures suspendues ou de canaux microfluidiques: insérer dans la technologie de microcapteurs biologiques actuellement développée par l’équipe microélectronique de l’IETR, en particulier pour la détection de protéines, l’utilisation de couches d’isolant déposées à basse température, pour la réalisation de canaux microfluidiques dont le but est de garantir le passage du liquide à tester.


Compétences mobilisées
- Microélectronique
- Microtechnologie de surface
- Techniques de dépôt
- Physique des semiconducteurs
- Méthodes de caractérisation

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