Réalisation et caractéristion d'un microcapteur d'humidité,
Réalisation d'un microcapteur d'humidité en utilisant les techniques de la microtechnologie en salle blanche et caractérisation du microcapteur


Compétences mobilisées
Découverte du protocole de la salle blanche
Utilisation des machine de gravure par plasme
Réalisation de masquage
Libération de microstructure
Utilisation de couche sacrificielle
Réalisation de couches structurelles

-:lien vers le poster ,

Florian Moreau, Christopher Mahn, MEEA, 2005