Zone de Texte: Spin Cast
Spin Cast
Zone de Texte: Insolation
Insolation
Zone de Texte: Nettoyage RCA
Nettoyage RCA
Zone de Texte: Développement
Développement
Zone de Texte: Soft Bake
Soft Bake
Zone de Texte: Post Bake
Post Bake
Zone de Texte: Silicium pur
Silicium pur
Zone de Texte: 500 tr/min 5s
500 tr/min 5s
Zone de Texte: 2h à 100°C
2h à 100°C
Zone de Texte: 2 min
2 min
Zone de Texte: 30 min en étuve 95°C
30 min en étuve 95°C
Zone de Texte: 7 min
7 min
Zone de Texte: 3000 tr/min 30s
3000 tr/min 30s
Procédé de fabrication d’un moule en résine SU8-2100
et utilisation du PDMS en microtechnologie
APPLICATIONS
Dans les télécommunications :
Réalisation de guides d’ondes
Réalisation d’antennes souples
Dans le milieu médical :
Réalisation de micro réservoirs.
Régulation de débits de médicaments
Dans les micro structures :
Réalisation de membranes
Protection de capteurs de pH
TUTEUR : Mr Hervé LHERMITE, maître de conférence
TRAVAIL EN SALLE BLANCHE
Salle propre : présence minimale de particules contaminantes évacuées par flux d’air ascendant
Tenue spécialisée
Sécurité optimale